布鲁克DektakXT探针式轮廓仪（台阶仪）采用了革命性的台式设计，结合行业技术和设计，实现了高性能、高易用性以及高性价比的统一，从研发到质量控制方面都有更好的过程控制。

布鲁克DektakXT探针式轮廓仪（台阶仪）采用了革命性的台式设计，结合行业的技术和设计，实现了高性能、高易用性以及高性价比的统一，从研发到质量控制方面都有更好的过程控制。

设备可实现4Å(0 .4 nm)    的优异重复性，扫描速度提高40%,为微电子、半导体、触摸屏、太阳能、高亮度LED、医疗和材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量技术提供支持。

设备特点：

◎性能，台阶高度重现性低于4Å

革新的设计、全面的配件以及优化的操作和分析软件使DektakXT 获得了更强劲的性能和台阶高度重现性。

◎Single-arch (单拱门式)设计，提供突破性的扫描稳定性

Single-arch   ( 单拱门式)的结构设计使DektakXT 更坚固，从而将环境噪音的影响 降至更低。Dektak XT的扫描探针可实现同时大垂直范围和低力扫描。

◎升级的“智能电子器件",提高测试精度和稳定性

DektakXT 升级的"智能电子器件",采用优良处理器，降低噪声水平，使其成为能够测量<10nm 台阶高度的系统。

◎优化的硬件配置，使数据采集时间缩短40%

利用独特的直接驱动扫描样品台，将测量时间加快40%,同时保持行业性能。 DektakXT  的64位并行处理Vision64  在更短的时间里完成并处理大型3D数据文件。

◎64-bit、Vision64 同步数据处理软件，使数据分析速度提高了十倍

Vision64 是布鲁克的64位并行处理操作和分析软件，能够更快地加载3D 形貌数据,并更快地应用滤波器和多区域数据库分析。

◎直观的Vision64 用户操作界面，使用更简单

Vision64 软件提供直观、简化的用户可视化界面，将智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。 DektakXT  的 Vision64  显著简化 并加快了操作和数据分析

◎针尖自动校准系统，让用户轻松更换针尖探针

DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针过程中的潜在风险。

◎ 广泛的探针型号

布鲁克能够提供广泛的探针尺寸和形状，几乎满足各种应用需求。DektakXT 具有更快、更简单的换针流程。

◎单传感器设计

提供单一平面上低作用力和宽扫描范围。

◎确保高通量测试

DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式，以可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。

布鲁克DektakXT探针式轮廓仪（台阶仪）