中图台阶仪台阶膜厚仪探针表面轮廓仪
LVDC电容传感，亚埃级分辨，测力可调适配软硬样品；磁吸快换探针，双影像导航定位，支持8英寸晶圆试样；兼顾单点与阵列批量检测，输出台阶高度、膜厚、粗糙度等多类参数；不受样品反光特性约束，适配半导体、光伏、光学微纳形貌检测，配套本地化技术维保服务。

中图台阶仪台阶膜厚仪探针表面轮廓仪

硬件性能

1. LVDC线性差动电容传感系统，实现亚埃级垂直分辨率，台阶高度测量重复性表现稳定；测量力1‑50mg连续可调，兼顾硬质基材与软质薄膜样品，降低探针划伤试样风险，实现接触式无损检测。整机采用龙门拱型稳定结构，高配机型集成一体式气浮隔振模块，降低外界振动、噪声带来的测量干扰，适配实验室与工业质检环境长期使用 。

2. 搭载精密电动XYθ位移平台，XY行程150×150mm，支持360°样品旋转；标配真空吸附载台，可兼容最大8英寸晶圆样品，适配薄片、基板、小片试样多种装夹需求。配备磁吸式快换测针结构，无需专用工具即可完成测针更换，软件端快速标定，减少维护调试耗时，标配金刚石探针，使用寿命可观 。

3. 双导航光学影像定位系统，高清彩色相机支持正视、斜视双视角观测，可视化定位扫描路径，可精准锁定微小待测区域，降低人工对位带来的操作偏差。扫描量程覆盖纳米级至1050μm台阶高度，扫描速度区间宽，可根据样品特性灵活配置扫描参数。

4. 设备不受样品反射率、材料硬度限制，透明、哑光、深色、软膜材质均可开展检测，拓展试样适配范围；整机集成多轴安全限位保护，规避探针碰撞损伤风险，提升设备运行安全性。

软件与数据处理

1. 支持单点快速测量、阵列多区域批量扫描、3D轮廓重建多种模式；自动识别台阶轮廓，输出台阶高度、膜层厚度、粗糙度、波纹度、表面翘曲等数十项形貌参数，可量化刻蚀、镀膜、CMP工艺的材料去除与沉积量。

2. 内置SPC统计分析模块，批量检测自动生成趋势统计图表，便于工艺过程监控；原始轮廓数据、检测时间、样品编号完整留存，支持自定义报告模板，满足研发分析、来料质检的数据归档溯源要求 。

3. 操作逻辑简洁，影像可视化选点，鼠标指定位置即可启动扫描；内置校准、补偿算法，可完成仪器状态校验，操作人员经基础培训即可独立完成样品检测工作。

4. 数据可导出通用格式，便于对接外部分析平台；软件持续迭代更新，可按需拓展分析功能模块，适配不同行业检测需求。

行业应用与配套服务

1. 广泛用于半导体晶圆、光刻工艺、MEMS器件、光学元件、LED、光伏电池、微纳新材料、显示面板领域；用于薄膜厚度、刻蚀台阶、表面微观形貌、器件结构特征检测，覆盖研发试验、制程工艺验证、成品质量检验场景。

2. 国产自研设备，可提供样品预测试、现场装机调试、实操人员培训；国内服务网点提供维保、校准支持，备件供应周期可控，提供定制化测量方案服务。

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