布鲁克光学3D表面轮廓仪白光干涉仪
WLI白光干涉技术，PSI/VSI多模式，纳米‑毫米宽量程
✅ 非接触无损测量，适配镜面、粗糙、软膜、半透明各类试样
✅ 大视场保持高垂直分辨率，AcuityXR提升横向细节分辨
✅ 整机高稳定性，内置自校准，满足产线GR&R计量要求
✅ Vision64专业分析软件，自动化批量检测，输出标准化报告
✅ 0.5‑200×丰富物镜，覆盖微观微结构到局部大面积检测

布鲁克光学3D表面轮廓仪白光干涉仪

基于Wyko®白光干涉核心技术，非接触式三维表面形貌计量设备，兼顾科研研发与产线质检场景 。

一、核心WLI白光干涉多模式测量，宽量程适配多样表面

1. PSI/VSI/USI多测量模式，一套设备覆盖亚埃级超光滑表面到毫米级大起伏工件 。

- PSI相移干涉：适配镜面、超光滑样品，垂直噪声可达0.01nm级别；

- VSI垂直扫描干涉：适合粗糙、台阶、深沟槽结构，可测量较大高度落差；

- USI模式：兼顾速度与精度，适配半透明、复合镀层样品。

2. 垂直分辨率不受物镜倍率约束，大视场下依旧维持高垂直测量精度，不用缩小观测视野换取分辨率 。

3. 搭载AcuityXR增强横向分辨技术，突破衍射极限，捕捉更多微观细微纹理细节 。

二、非接触无损检测，适配各类材质样品

全程光学非接触测量，无探针划伤样品风险，可测量软质薄膜、柔性材料、抛光镜面、脆性半导体、镀层涂层、腐蚀磨损试样；对反光、哑光、半透明材质均可输出稳定数据，无耗材损耗，维护成本低 。

可测量台阶高度、面型、三维粗糙度、波纹度、凹坑体积、薄膜厚度、凸点共面度等丰富表面参数。

三、整机光学机械稳定性，满足计量级重复性

1. 双LED照明系统，不同倍率下光照均匀，改善复杂样品成像质量。

2. 高刚性机体，部分型号集成气浮减振模块，降低车间环境震动干扰，产线现场也可获得稳定测试结果。

3. 内置自校准单元，开机自动校验，保证设备间数据一致性，测量结果具备计量可追溯，满足GR&R计量评定要求，适配产线质控检测。

4. 部分机型搭载摆头（Tip‑Tilt）光学机构：光学头倾斜、样品保持不动，倾斜表面、斜面结构测量时维持对焦，拓展测量角度范围。

四、Vision64专业计量软件，功能完备、支持自动化

1. 64位多核处理，采集与分析运算速度快，内置完整ISO表面纹理参数库，粗糙度、波纹度、台阶、面型、磨损体积等一键计算，支持自定义报告输出。

2. 支持自动聚焦、自动光强调节、特征识别、批量序列测量；可对接电动XY平台，完成大批量样品自动化检测流程。

3. 数据兼容通用格式，可导出点云、形貌图，对接第三方分析软件，方便科研论文、质检报告输出 。

五、宽倍率物镜配置，从小视场微观到大范围区域测量

物镜倍率覆盖0.5×‑200×，可灵活切换；小倍率做大范围面扫描，高倍率观测微米级微结构；可实现微小MEMS结构、光学元件，也可对较大零件局部区域做形貌表征。

六、丰富行业应用场景

- 半导体与先进封装：晶圆平整度、CMP研磨、凸点高度共面度、RDL重布线层、TSV硅通孔检测；

- 光学元件：镜片面型、镀膜均匀性、光栅、非球面元件检测；

- 精密加工&模具：超精车削、激光纹理、刀具磨损、模具纹理、3D打印表面质量评价；

- 材料摩擦腐蚀：磨损坑体积、点蚀、冲蚀、涂层表面形貌；

- 医疗生物：植入件表面纹理、生物薄膜、柔性试样；

- 科研院校：新材料、薄膜、MEMS器件研发表征。

布鲁克光学3D表面轮廓仪白光干涉仪