布鲁克光学3D表面轮廓仪白光干涉仪 WLI白光干涉技术，PSI/VSI多模式，纳米‑毫米宽量程 ✅ 非接触无损测量，适配镜面、粗糙、软膜、半透明各类试样 ✅ 大视场保持高垂直分辨率，AcuityXR提升横向细节分辨 ✅ 整机高稳定性，内置自校准，满足产线GR&R计量要求 ✅ Vision64专业分析软件，自动化批量检测，输出标准化报告 ✅ 0.5‑200×丰富物镜，覆盖微观微结构到局部大面积检测

非接触式光学3D表面轮廓仪白光干涉仪 Z向0.1 nm垂直分辨率，台阶测量重复性0.08%；复合型干涉算法，兼顾超光滑与粗糙样品；支持多物镜选配、图像拼接；输出符合国际国内标准的3D形貌参数，用于微纳表面非接触无损检测。

光学3D表面轮廓仪白光干涉仪$n非接触高速3D全域扫描，HDR算法适配多种材质；电动旋转模块消除测量死角，实现倒扣壁厚无损检测；一台设备完成轮廓、粗糙度、形位公差检测；支持CAD比对，数据报告可归档，适配精密制造研发与质检场景。

白光干涉仪三维形貌半导体薄膜检测3D轮廓仪 成熟白光干涉非接触测量，多测量模式适配多样材质样品；自带自校准与隔振结构，环境适应性较好；支持大视场拼接，机型配置选择丰富；配套双版本专业分析软件，契合国际表面计量标准；兼顾科研研发与工业批量质检，应用案例覆盖多微纳检测领域